В Мордовии открыли первую в России лаборатория ALD-технологий. На базе Института физики и химии МГУ им. Н.П. Огарева будут проводить исследования тонкопленочных покрытий, нанесенных по технологии атомно-слоевого осаждения. Использование ALD-технологий позволит улучшить существующие технологии в электронике и оптике.
Первая в России лаборатория по атомно-слоевому осаждению (ALD) открылась в МГУ им. Н.П. Огарева (Саранск). Мордовский университет с ее открытием переходит от теоретических знаний к практической реализации исследований и разработке инновационных продуктов на базе технологии ALD благодаря сотрудничеству с финской компанией Beneq Oy, производителем тонкопленочного оборудования, и компанией «ЭлТех СПб», специализирующейся на создании наукоемких производств.
Теперь ученые смогут исследовать процессы нанесения на материалы пленки толщиной менее одного нанометра (нанометр — это одна миллиардная часть метра). Спектр практических применений нанотехнологии ALD предполагает применение тонких пленок в оптических покрытиях, в процессе упрочнения стекла, в биосовместимых покрытиях, при защите от потускнения и коррозии, а также применение разнообразных барьерных пленок для электроники.
Сердцем лаборатории станет установка TFS200 для проведения исследований тонкопленочных покрытий (100 нм и менее), нанесенных по нанотехнологии атомно-слоевого осаждения. Толщина такого покрытия составляет 100 нанометров (для сравнения, скорость роста ногтей у человека составляет 1 нанометр в секунду).
Запуск новой лаборатории является началом нашего сотрудничества. Технология осаждения была разработана в Санкт-Петербурге еще в 1950-е годы, но широкое применение в промышленности получила лишь сейчас. ALD является мощным инструментом для исследования в области нанотехнологий. Существует возможность применения ALD в медицине и дисплейных технологиях. Мы надеемся активно вести сотрудничество с Мордовским университетом, найти предприятия партнеров в области микро- и оптоэлектроники в республики Мордовии. Очень важно, чтобы те фундаментальные проекты развития, которые рождаются в новой лаборатории, получили применение на практике. Это позволит добиться прорыва в промышленности, занять востребованные ниши на мировых рынках.
Мы ввели в строй огромное количество лабораторий, но запуск лаборатории в университете — огромное удовольствие. МГУ им. Н.П. Огарева является центром развития новых технологий, продукция которого будет использована на благо Мордовии и России.
Лаборатория должна стать площадкой одновременно для фундаментальных научных исследований и практических экспериментов. Деятельность лаборатории будет охватывать решение широкого круга задач: проведение прикладных исследований, демонстрация возможностей ALD-технологий, интеграция ALD в промышленность, реализация примеров мирового опыта в ALD, изготовление и анализ образцов, услуги по нанесению покрытий и пилотное производство, а также обучение технологиям и работе на оборудовании.
Технология атомно-слоевого осаждения потенциально может применяться в микроэлектронике, силовой электронике, оптоэлектронике и светотехнике. Финны, например, придумали использовать ее для производства дисплеев, предназначенных для работы в суровых условиях. Компании «ЭлТех СПб» и Beneq Oy обеспечат лабораторию необходимым оборудованием, которое позволяет создавать пленки с высокой точностью по толщине, их можно нанести на подложки сложной формы и геометрии.
С целью закрепления партнерских отношений ректор Вдовин и Томми Вайнио подписали меморандум о сотрудничестве между МГУ им. Н.П. Огарева и фирмой Beneq Oy. Это уже пятнадцатая современная лаборатория, которая создана в университете за последние три года. Всего в рамках программы развития вуза было открыто или модернизировано 37 лабораторий и исследовательских центров.
То сотрудничество, которое активно развивается между Мордовией и Финляндией, — очередной шаг к освоению новых технологий по модернизации экономики, развитию инновационных производств и созданию высококвалифицированных рабочих мест. Именно эти задачи ставят перед нами президент России Владимир Путин и глава Мордовии Владимир Волков. На днях опубликован рейтинг инновационных экономик мира, где Финляндия вновь оказалась в числе лидеров. Поэтому партнерские отношения с финскими коллегами, использование их опыта очень важно для нас.
Справка SmartNews
Осаждение атомных слоев (ОАС), или, иначе, атомно-слоевое осаждение, — это технология осаждения тонких пленок, которая базируется на последовательных химических реакциях между паром и твердым телом и имеет свойство самоограничения. ОАС считается методом осаждения, который позволяет получить сверхтонкие равномерные пленки с возможностью управления их толщиной и составом на атомарном уровне. Процесс ОАС впервые был описан под названием «Молекулярное наслоение» в начале 1960-х годов профессором С.И. Кольцовым из Ленинградского технологического института им. Ленсовета. Процесс разрабатывался и внедрялся во всем мире под именем «атомно-слоевая эпитаксия», которая была предложена Туомо Сунтола в 1977 году. В Финляндии такие пленки уже применяются для нанесения покрытий, укрепляющих поверхности и защищающих их от влаги, повреждений и потускнения. Помимо этого, технологии позволяют создавать светофильтры, изменяющие коэффициент пропускания света. Решения этой технологии также востребованы в оптике и светотехнике, органической и гибкой электронике и медицине.
Прислала
Наталья Гребнева
Фото: wikipedia.org
Если рассматривать это событие в рамках нашего государства, то это очередной шаг в реализации стратегии создания наноиндустрии в нашей стране. И если рассматривать с позиции нашего региона, то это открытие современно нового для нашего университета направления исследований. Открытие лаборатории тонкопленочных покрытий — знаковое событие для всей страны. Нас в этом начинании активно поддержала республика. Мы планируем использовать возможности новой лаборатории не только для Института физики и химии, но и для медицинского и биологического факультетов. Открытие лаборатории — это очередной шаг в процессе создания наноиндустрии России, в развитии светотехнического кластера нашей республики. Результаты исследований будут практически применяться в реальном секторе экономики. Тонкопленочное покрытие возможно широко использовать в различных сферах производства, поэтому мы готовы сотрудничать с высокотехнологичными предприятиями.
